グループ会社

TEL Epion Inc.

代表者

President Michael Graf

事業内容

ガスクラスターイオンビーム(GCIB)技術を用いた半導体製造装置および産業用製造装置の開発・製造・販売

本社

900 Middlesex Turnpike, Building 6
Billerica, MA 01821
Tel: +1-978-436-2300
Fax: +1-978-436-2301
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