沿革

1980年代

1987/2 東京エレクトロン(株)・熊本製作所から分社
テル九州(株)設立

1990年代

1990/1 テル九州(株)から東京エレクトロン九州(株)に社名変更
1991/4 洗浄事業を東京エレクトロン佐賀(株)へ分社
1993/4 東京エレクトロン佐賀(株)と東京エレクトロン九州(株)が合併(存続会社:東京エレクトロン佐賀)
東京エレクトロン九州(株)に社名変更(本社:佐賀事業所)
1995/3 FPD事業拡大のため大津事業所を設立
1997/11 佐賀事業所・第3工場棟完成
1998/5 合志事業所・第1期工事完成
コータ/デベロッパ事業拡大のため合志事業所を設立

2000年代

2000/12 合志事業所・第2工場棟、事務棟完成
大津事業所プロセス評価棟完成
2007/6 合志事業所・第3工場棟完成
2008/3 熊本事業所を閉鎖
2008/10 本社所在地を合志事業所へ変更
2010/3 佐賀事業所を閉鎖

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