沿革

1990年代

1997/4 東京エレクトロン宮城株式会社を設立(松島町)

2000年代

2001/4 東京エレクトロン山梨株式会社と東京エレクトロン宮城株式会社が合併、東京エレクトロンAT株式会社に社名変更
2004/4 東京エレクトロンAT株式会社と東京エレクトロン東北株式会社が合併
2006/4 東京エレクトロンAT株式会社、東京エレクトロン東北、東京エレクトロンTS株式会社に分社化

2010年代

2010/7 東京エレクトロン宮城株式会社設立
2011/4 東京エレクトロンAT株式会社の半導体製造用エッチング装置事業を東京エレクトロン宮城に移管
10 東京エレクトロン宮城株式会社本社竣工
10 本社事業所・工場竣工

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