沿革

1960年代

1968/2 東京エレクトロン研究所(現東京エレクトロン(株))と米国サームコ社との合弁会社、テル・サームコ(株)を設立(主要製品である熱処理成膜装置の事業を開始)

1970年代

1975/10 株式会社テル・エンジニアリングと合併、株式会社テルメックに社名変更

1980年代

1983/7 東京エレクトロン株式会社と米国ラム・リサーチ社の合弁により、テル・ラム株式会社を設立(山梨県)
1986/7 テル東北エレクトロ二クス(株)を設立
1987/1 テル・ラム株式会社をテル山梨株式会社に社名変更
1987/2 テル東北エレクトロ二クス(株)をテル東北(株)に社名変更

1990年代

1990/1 テル山梨株式会社を東京エレクトロン山梨株式会社に社名変更
テル東北(株)を東京エレクトロン東北(株)に社名変更

2000年代

2001/4 東京エレクトロン山梨株式会社と東京エレクトロン宮城株式会社が合併、東京エレクトロンAT株式会社に社名変更
2004/4 東京エレクトロンAT株式会社と東京エレクトロン東北株式会社が合併
2006/4 東京エレクトロンAT株式会社、東京エレクトロン東北株式会社、東京エレクトロンTS株式会社に分社

2010年代

2011/4 東京エレクトロンAT株式会社の半導体製造用エッチング装置事業を東京エレクトロン宮城株式会社へ移管
2011/4 東京エレクトロンAT株式会社を東京エレクトロン山梨株式会社に社名変更し、本社を宮城県松島町から山梨県韮崎市に移転
2016/2 東京エレクトロンTS株式会社を吸収合併
2017/7 東京エレクトロン山梨株式会社と東京エレクトロン東北株式会社が合併、東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社に社名変更

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