プロセスエンジニア
ダウエンドルファー
アルノ
ARNAUD DAUENDORFFER
開発本部 プロセス技術部 2012年入社 生命体工学専攻

日本語、英語、ドイツ語、そしてフランス語と4ヵ国語を自由自在に操るアルノさん。
半導体を学ぶために日本に留学し、TELに入社してからは最先端の研究に取り組んでいます。

半導体の最先端を学ぶために、
フランスから日本へ。

私が日本に来たのは、フランスの大学の修士課程で半導体を専攻していたときです。子どもの頃に空手を習っていたことと、「半導体といえば日本」というイメージがあったので、いつか日本に留学したいと思っていました。九州の大学で修士課程の単位を取得後、博士課程も同じ九州の大学に進み、有機半導体について研究しました。留学期間で日本が大好きになり、日本で就職したいと考えるようになりました。

日本への留学前にインターンシップを経験し、その企業にTELの装置があり、当時から「TEL=半導体製造装置業界の最先端企業」というイメージを抱いていました。さらにTELはグローバルな事業展開をしているので、外国人の私も働きやすいだろうと考え、入社を決意しました。

現在は、プロセス技術部でディフェクトコントロールを担当するチームに所属しています。ディフェクトとは「欠陥」のこと。具体的には光や電子線を使い基板にパターンを転写するリソグラフィー工程で発生する欠陥のメカニズムを研究しています。余談ですが、私は集中すると没頭しやすく、クリーンルームでの実験では時間を忘れて夢中になってしまうことも。そこで、オンとオフを切り替えるために、毎日のルーティンとして始業前にコーヒーをドリップして飲んでいます。コーヒーを飲むのはフランスにいたときからの習慣で、いまはコーヒーの香りで仕事モードに入りますね。

チャレンジを続け、
2年がかりで成功を勝ち取る。

いまから半年ほど前、ディフェクト(欠陥)低減に関わる大きな成果を挙げることができました。しかし、初めからうまくいったわけではありませんでした。私は、このディフェクト(欠陥)低減プロジェクトにおいて、準備段階で糸口を見出せず多くの時間を費やし焦っていました。そんなとき上司から「実験が失敗しても、それは本当の失敗ではない。失敗することで一つの仮説が間違っていたと判断ができたことは成功だ」という言葉をかけてくれたのです。その言葉を聞いて「失敗という答を得たら、また別の実験をすればいい。それが成功につながるんだ」と思えるようになり、失敗を恐れずチャレンジを続けられました。

結果2年以上の歳月を経て、ゴールにたどり着いたときは本当に嬉しかったですね。その2年間は多くの壁にぶつかりましたが、しっかりと悩んだおかげで成長できたことを実感しています。

こうした研究では、チームのメンバーが力を合わせて取り組みます。特に今回のプロジェクトでは、東北や山梨にいるメンバーにも力を貸してもらい、全国のエンジニアの力を結集できるTELの強みを実感しました。今後も、各拠点と連携して研究開発をしていきたいと考えています。

次世代TELを担う、
プロセスエンジニアを目指す。

ディフェクト(欠陥)を研究していて特に難しいなと思うのは、欠陥が発生する確率を考慮するために白黒では判断できない曖昧な領域があること。大学時代での研究では、そのグレーゾーンでの判断が求められることはないので、そこが学生のときとの大きな違いだと思います。TELに入社してから、設備の整った環境下で、そして最先端の技術を用いることで、少しずつ条件が複雑なグレーゾーンでの判断力が身についてきたように感じています。

そうした最先端の研究では常に新しい発見がありますし、さらに知識が増えると、以前は見落としていた新しい気づきを得ることも。今後はより上流側での研究をして、いつかは論文を執筆し、国際学会で発表できたらと思っています。「この分野ならこの人」と言われるような研究者になって、次世代あるいは次々世代の技術を開発していきたいです。今日のTELではなく、明日のTELを描くエンジニアを目指して!