エレキエンジニア/
装置開発(電気・電子回路設計)
加藤 純也JUNYA KATO
開発部門 システム開発二部
2グループ
2010年入社 電気工学専攻

プラズマという原子レベルの世界で、半導体製造装置の制御に挑む加藤さん。
海外のお客さまに向けたプレゼンもおこない、エンジニアとして技術を伝える技も磨いています。

プラズマの世界を制御し、
10億分の1メートル単位の
溝を掘る。

父が電気関係の仕事をしていたこともあって、子どもの頃から工具や計測器が身近にありました。幼稚園の頃には半田ごてで遊んでいて、小学生の頃には学校の先生よりもパソコンに詳しいような、少し変わった子どもだったと思います(笑)。学生時代には、メカ、エレキ、ソフトすべての技術を学びながら、「エアーホッケーの自動打ち返し装置」の設計に挑みました。

就職を決めるとき、電子機器に関わる仕事につきたいとは考えていたのですが、テレビ、スマートフォンなどどれか1種類を担当するのではなく、何かもっと大きいことがしたいと思っていました。そんな中で見つけたのがTELです。半導体は、身の回りにあるすべての電子機器を動かす心臓部。その半導体をつくる装置を開発するという壮大さに魅力を感じました。

私が入社以来担当しているのは、プラズマを発生させるための高周波電源と、その出力をチューニングするための整合器の開発です。半導体の製造にはウェーハ上に溝を掘る工程があるのですが、ナノメートル(=10億分の1メートル)単位の微細な溝を正確に掘るためにプラズマを使います。プラズマとは、固体・液体・気体の先にある第四の状態。分子が電離して原子になり、さらに原子核とマイナス電子が激しく動き回っている状態です。「分子では大きすぎる、原子レベルで溝を掘ろう」というわけです。

プラズマを発生させると一口に言っても、そこにはさまざまな回路制御が求められます。弱いプラズマもつくれるようにして繊細なコントロールを可能にしたり、パワーの供給を断続的にすることで新たな効果を狙ったりするのです。TELの半導体製造装置で掘れる溝の細さ・きれいさ・複雑さは私が入社した当初に比べて格段に、そして日々進歩していますが、これからも日々装置の改良と検証を重ね、高周波電源と整合器のさらなる性能向上を目指しています。

勉強と実務を積み重ね、
未知の世界を自分のものに。

入社当時の私はプラズマについては全くの素人。正直化学もあまり得意ではありませんでした。最初は何もかも未知の世界でしたが、先輩方がとても分かりやすくプラズマの知識を教えてくださいました。また、かなり古い年代の資料も電子化されていて、TELの歴史の中で蓄積された知見資料も私の理解を助けてくれました。この開発に関わる前は「プラズマを扱っている人はどれだけ頭がいいんだろう」と、雲の上の存在のように感じていた部分がありましたが、実際の職場は冗談が飛び交う明るい雰囲気で、そのギャップにびっくりしたのを覚えています。

実際の業務としては、ハードラボという実験室で装置の回路をいじったり、電気の流れや高周波の測定をしたりすることが多いです。クリーンルームで試験機を使って実際にプラズマを発生させ、回路評価をおこなうこともあります。

最近は実験や評価だけではなく、お客さまやフィールドエンジニアから開発の要望をヒアリングしたり、開発の成果を社内外に伝えたりといった役割が増えてきました。アメリカや台湾への海外出張も1〜2カ月に1回ほどあり、現地のお客さま相手に英語でプレゼンをおこなったり、工場視察で意見交換をしたりしています。

英語は目下特訓中です。TELは語学研修に力を入れていて、希望者はネイティブによる少人数レッスンを受けることができるので、積極的に参加しています。あとはやはり、海外出張での実践経験がものをいいます。とにかくしっかり聞いて、簡単な文章でもいいから臆せずにたくさん話すことで、だいぶ意思疎通ができるようになってきました。また、先輩からのアドバイスを受け、英語で書かれたTELの特許資料をたくさん読むことを心掛けています。英語に加えて専門用語と技術の勉強にもなり、海外のお客さまと話す上で非常に役立っています。

世界に誇れる技術を、
世界で役立つものにする。

エンジニアとしてやりがいを感じるのは、自分の開発が役に立ったと実感する瞬間です。「この課題をクリアしないと思い通りの製品がつくれない」と悩むお客さまに条件を満たす解決策を提案できたときなどは、お客さまから「ありがとう」と言っていただけたりすることもあるので、そんなときは心から嬉しくなりますね。

以前上司から「うちの会社は世界一の技術を持っている。そしてその技術は君達の力があって成り立っているんだよ」と言っていただいたことがあり、とても誇りに感じました。TELの最先端技術は、世界中の電子機器の性能向上、目覚ましい技術革新を支えています。自分がその一端を担っていると思うと、やる気が尽きることはありません。

私はいま、グローバルな舞台でお客さまと直接コミュニケーションを取りながら開発を進める部分に大きな手応えを感じています。今後も自らの技術や知識を伸ばし、革新的なTELの技術を世界中に広めていきたいです。

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