メカエンジニア
木村 裕二YUJI KIMURA
開発部
SPEプラットフォーム技術グループ
2000年入社 機械工学専攻

メカエンジニアのベテランとして、プロジェクトを率いる木村さん。
装置開発をとりまとめる立場として後進を育てつつ、自らもエンジニアとしてのさらなる成長を目指しています。

コンセプトから設計まで、
装置全体をコーディネートする。

大学では半導体の製造工程の一つである酸化拡散の研究をしていました。当時の実験の中にはウェーハをカットしてパターンを焼き付ける手作業の工程などもあり、こうした研究の中で半導体製造装置メーカーのTELを知り、入社しました。

入社以来14年間、メカエンジニアとして設計部門に所属し、量産装置のメカ設計を担当しました。その後、キャリアアップのために開発グループへ異動し、現在3年目になります。

開発部の仕事は、量産装置のベースとなるマシンのコンセプトを決め、その枠組みをつくること。その中でも、私たちのグループは装置全体のコーディネートを担当しています。3D CADを使って装置の構想設計から始まり、プロセスやソフトといった異なる部署のニーズを取り込みながら装置開発を進めます。開発段階から完成するまで、最初から最後までその装置に携わるため、仕事は多岐にわたります。試作品の評価や、データの解析に留まらず、案件によっては出荷後の装置立ち上げに関わったり、アフターサポートやお客さまへの仕様説明をするためのプレゼンテーションもわれわれの仕事の一つです。

自らが推進力となり、
リーダーとしてチームを引っ張る。

私が担当するのはフォトレジスト(感光剤)の塗布と現像をおこなう装置のシステムプラットフォーム開発です。これは写真の技術を利用して、ウェーハ上に感光剤を塗って現像をおこなうもので、複雑な集積回路をつくる上で重要な工程です。

現在は、その手法を応用した新規装置の開発プロジェクトでリーダーを務めています。開発プロジェクトでは、プロセス、ソフト、エレキ、そしてメカの各部門からエンジニアが集まってチームを組み、何度も協議を重ねて装置の仕様をつくりあげます。プロジェクトを統括する上で、私が心掛けていることは2つ。一つは、会議において部門ごとに議題を設けて効率的にメンバーから意見を引き出し、まとめていくこと。そうすることで議論が活性化し、自ずとチームワークが良くなるのです。もう一つは、自らが手本となるようなプレイヤーとなり、先頭に立って皆を引っ張っていくこと。

先日、装置の立ち上げで20名以上の守備範囲が異なるエンジニアたちとともに約1カ月間ヨーロッパに滞在しました。技術的なトラブルに見舞われる中、現地のエンジニアにも助けてもらいながら、やらなければいけないことを冷静に明確化してメンバー全員に伝えるよう努めました。その結果、しっかりとした協力体制を整えることができたことにより、お客さまが求めるスペックで装置を稼働させることができたのです。お客さまから「Good Job!」と感謝の言葉をいただいたときは、皆で喜びを分かち合いましたね。また、メンバーからは「木村さんは背中で引っ張りますよね。俺もやらんといかんやないですか(笑)」と言われ、少し照れくさかったですが、成功で得た感動を今でもしっかりと覚えています。

TELなら、
エンジニア一人ひとりが
世界とつながれる。

私たちが3D-CADという仮想空間から生み出した装置は、世界各国でいまも半導体を生み出し続けています。以前、米国のオバマ前大統領がTELの装置を見ている写真が掲載された際に、私の関わったキャビネットが背後に映っていて、「おっ!」と思いました。私たちエンジニアの働きが、世界中の装置や商品につながっているのだと感じられた瞬間です。

TELでは、一人ひとりが日常的に世界とつながり、一体となって仕事をしています。出社してメールチェックをすると、私たちが寝ている間に各国のエンジニアから相談がきていて、朝から焦ることもしばしば。大変ですし気を抜けませんが、遠く離れた地球の反対側でも、私たちの手がけた装置が思惑通りに動いて、すべてのエレクトロ二クス産業の源泉である半導体を生み出しているのは、とても誇らしく、やりがいを感じています。