※単位：百万円
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 売上高 | 508,082 | 418,636 | 668,722 | 633,091 | 497,299 | 612,170 | 613,124 | 663,948 | 799,719 | 1,130,728 |
| 半導体製造装置 | 325,383 | 262,391 | 511,331 | 477,873 | 392,026 | 478,841 | 576,242 | 613,032 | 749,893 | 1,055,234 |
| FPD製造装置 | 88,107 | 71,361 | 66,721 | 69,888 | 20,160 | 28,317 | 32,709 | 44,687 | 49,387 | 75,068 |
| PV製造装置 | 3,805 | 3,617 | － | － | － | |||||
| 電子部品・情報通信機器 | 94,207 | 84,473 | 90,216 | 84,867 | 84,664 | 100,726 | － | － | － | － |
| その他 | 384 | 410 | 453 | 461 | 448 | 479 | 555 | 6,228 | 438 | 425 |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 売上総利益 | 137,408 | 108,316 | 234,758 | 211,444 | 158,754 | 201,892 | 242,773 | 267,209 | 322,291 | 475,032 |
| 売上総利益率 | 27.0％ | 25.9％ | 35.1％ | 33.4% | 31.9% | 33.0% | 39.6% | 40.2% | 40.3% | 42.0% |
| 販売費及び一般管理費 | 122,697 | 110,496 | 136,887 | 151,001 | 146,206 | 169,687 | 154,660 | 150,420 | 166,594 | 193,860 |
| 営業利益 | 14,710 | -2,180 | 97,870 | 60,443 | 12,548 | 32,204 | 88,113 | 116,788 | 155,697 | 281,172 |
| 営業利益率 | 2.9％ | -0.5％ | 14.6％ | 9.5% | 2.5% | 5.3% | 14.4% | 17.6% | 19.5％ | 24.9% |
| 経常利益 | 20,555 | 2,558 | 101,919 | 64,046 | 16,696 | 35,487 | 92,949 | 119,399 | 157,549 | 280,737 |
| 税金等調整前当期純利益 | 9,636 | -7,767 | 99,579 | 60,602 | 17,766 | -11,756 | 86,827 | 106,466 | 149,116 | 275,242 |
| 親会社株主に帰属する当期純利益 | 7,543 | -9,033 | 71,924 | 36,725 | 6,076 | -19,408 | 71,888 | 77,891 | 115,208 | 204,371 |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 減価償却費 | 23,068 | 20,001 | 17,707 | 24,197 | 26,630 | 24,888 | 20,878 | 19,257 | 17,872 | 20,619 |
| 設備投資額 | 18,107 | 14,918 | 39,140 | 39,541 | 21,773 | 12,799 | 13,183 | 13,341 | 20,697 | 45,603 |
| 研究開発費 | 60,987 | 54,074 | 70,568 | 81,506 | 73,248 | 78,663 | 71,349 | 76,286 | 83,800 | 97,103 |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 有利子負債 | 3,806 | 5,105 | 7,996 | 4,402 | 3,756 | 13,531 | － | － | － | － |
| 自己資本 | 518,387 | 511,818 | 572,741 | 586,789 | 593,032 | 578,091 | 639,483 | 562,369 | 643,094 | 767,146 |
| 総資産 | 668,998 | 696,351 | 809,205 | 783,610 | 775,527 | 828,591 | 876,153 | 793,367 | 957,447 | 1,208,705 |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| デット・エクイティ・レシオ | 0.7% | 1.0% | 1.4% | 0.8% | 0.6% | 2.3% | － | － | － | － |
| 自己資本比率 | 77.5% | 73.5% | 70.8% | 74.9% | 76.5% | 69.8% | 73.0% | 70.9% | 67.2% | 63.5% |
| ROE | 1.4% | -1.8% | 13.3% | 6.3% | 1.0% | -3.3% | 11.8% | 13.0% | 19.1% | 29.0% |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 営業キャッシュ・フロー | 81,030 | 48,284 | 83,238 | 29,712 | 84,266 | 44,449 | 71,806 | 69,398 | 136,948 | 186,582 |
| 投資キャッシュ・フロー | -160,621 | 9,613 | -35,881 | -8,352 | -141,769 | -19,599 | 155,737 | -150,013 | -28,893 | -11,833 |
| 財務キャッシュ・フロー | -46,015 | -287 | -5,236 | -27,334 | -10,625 | -186 | -18,213 | -138,600 | -39,380 | -82,549 |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 1株当たり当期純利益（円） | 42.2 | -50.5 | 401.7 | 205.0 | 33.9 | -108.3 | 401.1 | 461.1 | 702.3 | 1245.5 |
| 1株当たり配当金（円） | 24 | 12 | 114 | 80 | 51 | 50 | 143 | 237 | 352 | 624 |
| 2009年 3月期 | 2010年 3月期 | 2011年 3月期 | 2012年 3月期 | 2013年 3月期 | 2014年 3月期 | 2015年 3月期 | 2016年 3月期 | 2017年 3月期 | 2018年 3月期 | |
| 従業員数（人） | 10,391 | 10,068 | 10,343 | 10,684 | 12,201 | 12,304 | 10,844 | 10,629 | 11,241 | 11,946 |
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