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業績・財務データ
過去10年間の主要財務データ

過去10年間の主要財務データ

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※単位：百万円

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
売上高	633,091	497,299	612,170	613,124	663,948	799,719	1,130,728	1,278,240	1,127,286	1,399,102
半導体製造装置	477,873	392,026	478,841	576,242	613,032	749,893	1,055,234	1,166,781	1,060,997	1,315,200
FPD製造装置	69,888	20,160	28,317	32,709	44,687	49,387	75,068	111,261	66,092	83,772
PV製造装置	69,888	20,160	3,805	3,617	－	－	－	－	－	－
電子部品・情報通信機器	84,867	84,664	100,726	－	－	－	－	－	－	－
その他	461	448	479	555	6,228	438	425	197	197	129

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
売上総利益	211,444	158,754	201,892	242,773	267,209	322,291	475,032	526,183	451,941	564,945
売上総利益率	33.4%	31.9%	33.0%	39.6%	40.2%	40.3%	42.0%	41.2％	40.1%	40.4%
販売費及び一般管理費	151,001	146,206	169,687	154,660	150,420	166,594	193,860	215,612	214,649	244,259
営業利益	60,443	12,548	32,204	88,113	116,788	155,697	281,172	310,571	237,292	320,685
営業利益率	9.5%	2.5%	5.3%	14.4%	17.6%	19.5％	24.9%	24.3％	21.0%	22.9%
経常利益	64,046	16,696	35,487	92,949	119,399	157,549	280,737	321,662	244,979	322,103
税金等調整前当期純利益	60,602	17,766	-11,756	86,827	106,466	149,116	275,242	321,508	244,626	317,038
親会社株主に帰属する当期純利益	36,725	6,076	-19,408	71,888	77,891	115,208	204,371	248,228	185,206	242,941

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
減価償却費	24,197	26,630	24,888	20,878	19,257	17,872	20,619	24,323	29,107	33,843
設備投資額	39,541	21,773	12,799	13,183	13,341	20,697	45,603	49,754	54,666	53,868
研究開発費	81,506	73,248	78,663	71,349	76,286	83,800	97,103	113,980	120,268	136,648

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
有利子負債	4,402	3,756	13,531	－	－	－	－	－	－	－
自己資本	586,789	593,032	578,091	639,483	562,369	643,094	767,146	880,748	819,301	1,012,977
総資産	783,610	775,527	828,591	876,153	793,367	957,447	1,202,796	1,257,627	1,278,495	1,425,364

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
デット・エクイティ・レシオ	0.8%	0.6%	2.3%	－	－	－	－	－	－	－
自己資本比率	74.9%	76.5%	69.8%	73.0%	70.9%	67.2%	63.8%	70.0%	64.1%	71.1%
ROE	6.3%	1.0%	-3.3%	11.8%	13.0%	19.1%	29.0%	30.1%	21.8%	26.5%

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
営業キャッシュ・フロー	29,712	84,266	44,449	71,806	69,398	136,948	186,582	189,572	253,117	145,888
投資キャッシュ・フロー	-8,352	-141,769	-19,599	155,737	-150,013	-28,893	-11,833	-84,033	15,951	-18,274
財務キャッシュ・フロー	-27,334	-10,625	-186	-18,213	-138,600	-39,380	-82,549	-129,761	-250,374	-114,525

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
1株当たり当期純利益（円）	205.04	33.91	-108.31	401.08	461.10	702.26	1,245.48	1,513.58	1,170.57	1,562.20
1株当たり配当金（円）	80	51	50	143	237	352	624	758	588	781

	2012年 3月期	2013年 3月期	2014年 3月期	2015年 3月期	2016年 3月期	2017年 3月期	2018年 3月期	2019年 3月期	2020年 3月期	2021年 3月期
従業員数（人）	10,684	12,201	12,304	10,844	10,629	11,241	11,946	12,742	13,837	14,479

* 2019年3月期より「『税効果会計に係る会計基準』の一部改正」（企業会計基準第28号 2018年2月16日）を適用しており、2018年3月期の「総資産」および「自己資本比率」は、当該会計基準を遡って適用した後の数値を記載しています。

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