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2018.07.10

バッチ式スプレー洗浄装置 MERCURY™ MP 再販開始のお知らせ

 東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、バッチ式スプレー洗浄装置MERCURY™ MPの販売を再開することをお知らせいたします。MERCURY MPは、当社のZETA™装置を補完する役割を果たし、世界中で1,000台以上の納入実績を持つ、実証されたテクノロジーです。

 MERCURYは75mmから200mmのウェーハサイズに対応しており、昨今の300mmへの要求および枚葉式洗浄への業界動向により販売を停止しておりましたが、IoT市場の出現による200mmウェーハでの製造の急激な増加に伴い、お客さまにおける低コスト化を実現できる装置として販売を再開いたします。

 TEL FSI, Inc.社長 西垣寿彦は、「私たちはこの市場の新たな成長に期待するとともに、業界で実績のあるMERCURYの再リリースにより、確かなソリューションをただちにお客さまにご提供できることを大変嬉しく思います。」と述べています。

 ZETAとMERCURYは、プロセスに最適化された洗浄ツールとして、高い柔軟性と生産性を提供するTELのバッチ式スプレー洗浄装置であり、従来は個別の装置が必要だったウエットエッチや剥離・洗浄といった複数のプロセスを、最小化された設置面積の1台の装置で実現できます。

 TELは、2018年7月10日~12日にカリフォルニア州サンフランシスコのMoscone Centerで開催されるSEMICON Westにおいて、TELの保有するバッチ式スプレー洗浄装置をご紹介します。ご来場の際は、当社ブース(South Hall - 1029)にぜひお立ち寄りください。


ZETAおよびMERCURYは、TEL FSI, Inc.の日本およびその他の国における登録商標または商標です。