バッチ式スプレー洗浄装置 MERCURY™+ 販売開始のお知らせ、出荷開始は2019年3月
東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、バッチ式スプレー洗浄装置MERCURY™+の販売を開始することをお知らせいたします。MERCURY+は、先進的な新制御システムを搭載することにより、世界中で1000台以上の納入実績のある実証されたプロセス技術を、引き続きお客さまにご使用いただくための装置です。
MERCURY+は75mmから200mmのウェーハサイズに対応し、より低コストのバッチ式スプレー洗浄装置を求める業界のニーズに応えた製品です。新たに搭載された制御システムは旧式化したコンポーネントを刷新し、新しいCPU、タッチスクリーン インターフェース、空圧カードラック、入出力インターフェース、モーター速度制御装置などを導入しています。さらにモニタリング、データロギング、メンテナンスの各機能を追加して制御システムの機能性を拡張しながら、再検証することなく従来のMERCURYプロセスを使っていただけます。この新制御システムはMERCURY+全機に搭載され、従来機種であるMERCURY MPへの改造による搭載も可能です。
TEL FSI, Inc.社長 西垣寿彦は、「私たちは洗浄装置市場の新たな成長に期待するとともに、業界で実績のあるMERCURYの機能強化により、確かなソリューションをただちにお客さまにご提供できることを大変嬉しく思います」と述べています。
TELのバッチ式スプレー洗浄装置は、プロセスに最適化された洗浄ツールとして高い柔軟性と生産性を提供し、従来は個別の装置が必要だったウエットエッチングや剥離・洗浄といった複数のプロセスを、最小化された設置面積の1台の装置で実現できます。
TELは、2018年12月12日～14日に東京ビッグサイトで開催されるSEMICON Japan (セミコンジャパン) において、IoT市場のニーズに応えるTELバッチ式スプレー洗浄装置をご紹介します。ご来場の際は、当社ブース (東4ホール 小間番号4544) にぜひお立ち寄りください。
MERCURYは、TEL FSI, Inc.の日本およびその他の国における登録商標または商標です。
