FPD コータ/デベロッパ

世界初大型基板向けエア浮上式コータユニットを搭載

FPDコータ/デベロッパは、FPD製造プロセスのうちアレイ工程(ディスプレイを駆動させる側の基板のプロセス)において、フォトレジスト(感光剤)の塗布と現像をおこなう装置です。FPDコータ/デベロッパは、アレイ基板上にフォトレジストを塗布した後、一旦基板を露光装置に送り、そこで転写された微細な回路パターンを、薬液を用いて現像します。露光された部分のフォトレジストは溶解し、基板上には回路パターンが凹凸に描かれます。これはフォトリソグラフィープロセスと呼ばれ、アレイ工程の様々なレイヤーごとに繰り返しおこなうことで、複雑な薄膜トランジスタ(TFT)回路が作られます。TELのFPDコータ/デベロッパ装置は、その高い信頼性と生産性をワールドワイドのお客さまから評価され、最先端の大型基板において確固たる地位を築いています。

第6世代から第10.5世代基板に対応したコータ/デベロッパ装置です。露光装置、周辺露光装置、検査装置などを含めインライン対応しています。第10世代以上の大型アレイ用では世界No.1シェアを獲得しており、大型基板において高い生産性および安定稼働を実現しています。
当社が独自開発をおこない、FPDアレイ工程に世界で初めて量産採用されたエア浮上式スリットコータは、高スループットおよび優れた塗布均一性を実現しています。大型基板向け装置を中心に広くご支持をいただいています。フォトレジストに加え、アクリル・ポリイミドなどの有機膜材料の塗布・現像にも対応します。

製品の特徴
エア浮上式スリットコータ搭載
フラットトランスファーコンセプトを採用し、安定した基板搬送を実現
対応基板サイズ:
1,500mm x 1,850mm
2,200mm x 2,500mm
2,940mm x 3,370mm

シリーズの比較

Gen10.5Gen8.5Gen6Gen4.5
MarketTVTV, Tablet, MonitorMobile, AR/VR, AutomotiveMobile, AR/VR, Automotive
Technology

LCD, OLED, a-Si,

Metal Oxide

LCD, OLED, a-Si,

Metal Oxide

LCD, Flexible OLED,

LTPS, Metal Oxide

LCD, OLED, LTPS,

Metal Oxide

Substrate size(mm)2940x33702200x25001500x1850730x920
PlatformExceliner™Exceliner™Exceliner™CS
ApplicationPR, ORGPR, ORGPR, ORGPR, ORG
Additional featuresTAC,
Flat transfer concept
TAC,
Flat transfer concept
TAC,
Flat transfer concept
TAC
Central transfer concept