FPD インクジェット描画装置

大型有機ELディスプレイでの究極の材料使用効率を実現する

インクジェット描画装置は、有機ELディスプレイの有機発光層成膜の生産性を大幅に改善します。従来用いられている真空蒸着方式とは異なり、インクジェット方式では、大気中で大型ガラス基板に有機材料を必要量のみ吐出するという成膜手法が用いられます。これにより、今後のテレビ用ディスプレイの大型化や低コスト化を可能としました。TELでは、フラットパネル製造にて実績のあるインクジェット技術をベースに、生産工程における材料使用量削減とパーティクル低減を実現します。

Elius™は、有機ELディスプレイ製造向けに当社とセイコーエプソンが共同開発したインクジェット描画装置です。
最大G8サイズの基板に対し、高精度且つ高速なインク描画を行うことが可能であり、有機ELディスプレイの高い生産性を実現します。
又、Elius™によるインクジェット方式は、Side by Sideによる大型有機ELディスプレイの生産が可能であり、従来の蒸着方式と比べて大幅な材料使用量削減を実現できます。
アプリケーションとしてホール注入層 / ホール輸送層 / 発光層のパターニングを有します。

特長
基板サイズ:Elius™500 Pro <標準> 370mm × 470mm
Elius™1000 Pro <標準> 730mm × 920mm
Elius™2500 Pro <標準>2,200mm × 2,500mm