コータ/デベロッパ Markシリーズ

後世に続く革新的な改良を重ねたベストセラー機種

MarkシリーズのルーツであるCLEAN TRACK™は、米国製装置をベースに国産化したTELにとって初の塗布現像装置です。 CLEAN TRACK™ MARK IIでは6インチへの大口径化と、制御系の強化が盛り込まれました。さらに露光機インラインモデルを展開するなど生産性の改善を進め、MARK Vにおいて、積層オーブンや高速ウェーハ搬送ロボットなど当時革新的であったさまざまな技術の搭載を実現し、業界スタンダードとしての地位を確立しました。

CLEAN TRACK™ Mark-Vz

CLEAN TRACK™ Mark-Vは、TELが独自に開発し6インチ市場のベストセラー機として千数百台の出荷実績を持つ、4~6インチウェーハ対応コータ/デベロッパ装置です。業界スタンダードのベースとなったこのモデルは、市場での十分な実績とバージョンアップによってさらに進化を続けました。オプション群も充実し、ユーザのさまざまなアプリケーションニーズに応えながら、発売から30年近く経った今もなお、稼働を続けています。

CLEAN TRACK™ Mark 7/Mark 8

CLEAN TRACK™ Mark 7/Mark8は、TELのクリーントラックシリーズの最高機種として1989年に誕生したMARK Vの装置コンセプトを受継ぎ、さらなる微細化対応と生産性向上を実現した革新的な5~8インチウェーハ対応コータ/デベロッパです。さらに、優れた性能を安定して発揮できる環境制御技術をプラスし、長年にわたり研究開発から量産までを幅広くサポートしています。

シリーズの比較

Mark VzMark7
Mark8
Wafer size (mm)75,100,150100,150,200
AvailabilityCertified usedCertified used
Throughput (wph)Inline:60Inline: 90
Processi-linei-line, KrF
SubstratesSi, GaAs, GaN, GaP,SiC
Glass, Sapphire, AlTiC, LN, LT
Si, GaAs, GaN, GaP,SiC
Glass, Sapphire, AlTiC, LN, LT
Additional featuresTransfer robotEnclosed system