TOKYO ELECTRON LIMITED

China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 2018

イベント概要

開催日

2018.03.11〜2018.03.12

開催場所

上海

中国における半導体産業への注目は皆さんご存知のとおりですが、中国でも半導体技術に関するコンファレンスが幾つか開催されています。なかでも2000年より毎年SEMICON Chinaに先だって上海で開催されるSEMI、IMEC およびIEEE-EDS主催、IMECAS共催のChina Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)は、中国の半導体技術関連コンファレンス最大のものとして位置づけられます。このコンファレンスは半導体の製造技術と最先端技術を中心に、デバイスの設計、インテグレーション、材料、装置などをカバーしています。2018年は、最近特に注目されているメモリー技術、3Dインテグレーション、MEMS技術などがトピックスとして取り上げられ、中国を中心にアジアの半導体関係者が参加して熱い議論を繰り広げます。

Desirable material selection on Self-aligned Multi-patterning

Hidetami Yaegashi, Tokyo Electron Limited.

Thin Film Process Technologies for Continued Scaling

Robert Clark, et, al., TEL Technology Center, America, LLC

Benefits of atomic-level processing by Quasi-ALE and ALD technique (invited)

M.Honda, Tokyo Electron Miyagi Limited