学会発表

2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会

さまざまな学問分野に関して活発な議論がおこなわれる応用物理学会が、3/9から3/12にかけて日本で開催されます。
東京エレクトロン(TEL)からは、最先端の半導体加工技術の動向と将来展望について、基調講演1件、招待講演2件の計3件を発表予定です。

  • 【招待講演】最先端エッチング技術の動向と将来展望

    本田 昌伸、勝沼 隆幸、久松 亨、木原 嘉英(東京エレクトロン宮城)