学会発表

CSTIC 2019

SEMICON Chinaに先立ち、China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)2019が3/18から3/19に上海で開催されます。このカンファレンスでは、半導体製造技術を中心に議論がおこなわれます。
東京エレクトロン(TEL)からは、最先端の半導体加工技術に関して、招待講演5件を含む、計7件を報告する予定です。

  • EUV SADP SAB Integration Scheme for Sub 30-nm Pitch Mx Patterning

    Kiyotaka Imai*1, T. Yamamoto*1, A. Raley*2, E. Liu*2, and A. Ko*2

    *1 Tokyo Electron Ltd.
    *2 TEL Technology Center, America, LLC

  • Precise Etching Profile Control by Atomic-Scale Process

    Y. Kihara, T. Katsunuma, M. Tabata, T. Hisamatsu, and M. Honda (Tokyo Electron Miyagi Ltd.)