CSTIC 2019
イベント概要
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開催日
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2019.03.18〜2019.03.19
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開催場所
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上海
SEMICON Chinaに先立ち、China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC）2019が3/18から3/19に上海で開催されます。このカンファレンスでは、半導体製造技術を中心に議論がおこなわれます。
東京エレクトロン(TEL)からは、最先端の半導体加工技術に関して、招待講演5件を含む、計7件を報告する予定です。
EUV SADP SAB Integration Scheme for Sub 30-nm Pitch Mx Patterning
Kiyotaka Imai*1, T. Yamamoto*1, A. Raley*2, E. Liu*2, and A. Ko*2
*1 Tokyo Electron Ltd.
*2 TEL Technology Center, America, LLC
Precise Etching Profile Control by Atomic-Scale Process
Y. Kihara, T. Katsunuma, M. Tabata, T. Hisamatsu, and M. Honda (Tokyo Electron Miyagi Ltd.)
