学会発表

IITC 2019

International Interconnect Technology Conference (IITC 2019) が、Materials for Advanced Metallization Conference (MAM 2019)と合同で、6/3から6/6にベルギー王国のブリュッセルで開催されます。この国際会議では、ULSI向けの次世代金属形成技術や3Dインテグレーション技術がなどの配線技術が議論されます。東京エレクトロンは、その技術領域に関して、口頭発表1件を予定しています。

  • Novel Volatile Film for Precise Dual Damascene Fabrication

    M. Fujikawa*1, T Yamaguchi*1, S. Nozawa*1, Y. Kikuchi*2, K. Maekawa*2, and H.Kawasaki*3

    *1 Tokyo Electron Technology Solutions Limited
    *2 TEL Technology Center, America, LCC
    *3 Tokyo Electron Limited