学会発表

2019 Symposia on VLSI Technology and Circuits

Symposia on VLSI Technology and Circuits(VLSIシンポジウム)が、6/9から6/14に京都で開催されます。この国際会議は、VLSI技術に関する最も有名な学会の一つです。東京エレクトロン(TEL)は、「サンデー・ワークショップ」と「ショートコース」の中で、選択成長薄膜プロセスに関する講演を予定しています。

  • Selective and Self-Limited Thin Film Processes for the Atomic Scale Era

    R. Clark (TEL Technology Center, America, LCC)
    [Sunday Workshop 1 (June 9th)]

  • Advanced Process Technologies Required for Future Scaling and Devices

    R. Clark (TEL Technology Center, America, LCC)
    [Short Course 1 (June 10th)]