TOKYO ELECTRON LIMITED

SSDM2019

イベント概要

開催日

2019.09.02〜2019.02.05

開催場所

名古屋

International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) が、9/2-5に日本の名古屋市で開催されます。
主に半導体に関連する固体素子、および材料について議論され、東京エレクトロン(TEL)はサテライト・ワークショップへの登壇を予定しています。

Machine Learning Approaches for Optimizing Plasma Process and Tool Performances

Munehito Kagaya (Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.)