TOKYO ELECTRON LIMITED

第7回 電子デバイスフォーラム 京都

イベント概要

開催日

2020.10.29〜2020.10.30

開催場所

京都 / オンライン

第7回 電子デバイスフォーラム 京都が10/29から10/30に開催されます。ここでは一般電子部品・半導体をはじめとした電子デバイス全体に関する活発な議論が行われます。
東京エレクトロン(TEL)からは、最先端半導体デバイスの微細化・高積層化を支えるALE技術・高アスペクト加工などに代表されるエッチング技術の最新動向に関する講演を予定しております。なお、今回は新型コロナウイルス感染防止の観点から、京都会場の定員が削減されていますが、WEBでも配信されます。聴講機会が増えていますのでぜひ参加をご検討ください!

招待講演最先端デバイスを支えるエッチング技術動向

W. Sakamoto(Tokyo Electron Miyagi Ltd.)