日本表面真空学会　学術講演会

2020年日本表面真空学会学術講演会が11/19から11/21にオンライン開催されます。この講演会では表面科学や真空技術の基礎研究からその応用まで、幅広い議論がおこなわれます。
東京エレクトロン（TEL）からは、混合ガスに関するシミュレーションについて報告予定です。