TOKYO ELECTRON LIMITED

第38回 国際フォトポリマーコンファレンス(ICPST-38)

イベント概要

開催日

2021.06.15〜2021.06.16

開催場所

バーチャル

対象者

プロセスエンジニア

国際フォトポリマーコンファレンスが6/15から6/16にバーチャル開催されます。日本を始め世界中から研究者、技術者が集まり、フォトポリマーに関する基礎研究から応用技術までが議論されます。東京エレクトロン(TEL)からは招待講演1件を予定しています。

(Invited)
Randomness of Polymer Microstructure in the Resist Film as Shot Noise