ALD/ALE 2021
イベント概要
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開催日
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2021.06.27〜2021.06.30
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開催場所
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バーチャル
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対象者
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プロセスエンジニア
ALD/ALE 2021が6/27から6/30にバーチャルで開催されます。半導体デバイスの微細化に重要な技術である、原子層堆積法(ALD)と原子層エッチング法(ALE)に関する最新の研究発表がおこなわれます。東京エレクトロン(TEL)および共同研究者からは招待講演1件を含む4件の報告を予定しています。ぜひご参加ください！
Invited talk
Agile Pathfinding Technology Prototyping: the Hunt for Directional Correctness
D.Chanemougame, J.Smith, P.Gutwin, B.Byrns and L.Liebmann (TEL Technology Center‚ America‚ LLC)
Invited talk
Agile Pathfinding Technology Prototyping: the Hunt for Directional Correctness
D.Chanemougame, J.Smith, P.Gutwin, B.Byrns and L.Liebmann (TEL Technology Center‚ America‚ LLC)
