IITC2021

東京エレクトロン（TEL）が協賛する2021 IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC)が7/6から7/9にオンライン開催されます。この国際会議では、ULSI IC向けの金属形成技術や3Dインテグレーション技術などの配線技術に関する研究発表および議論がおこなわれます。TELおよび共同研究者から２件の講演を予定しています。