技術コンピテンス

時代はIoT、AIを活用した「第四次産業革命」に突入しています。
半導体市場は急速な成長を迎え、半導体は「2次元」の微細化による高集積化から、「3次元」へ更なる進化をしています。

最先端の半導体デバイス素子を高集積化するには、ウェーハ上に微細で3次元の複雑な形状をつくる必要があり、「成膜」「リソグラフィ」「エッチング」「洗浄」が何度も繰り返し行われます。半導体製造装置に求められる技術要求は、半導体デバイスの進化に伴ってますます高度になっています。

デバイス進化の変遷

インテルの創業者の一人、ゴードン・ムーア氏が「ムーアの法則」を提唱されてから50年以上経ちます。半導体デバイスは微細化によって性能向上とコストダウンが図られてきました。
1971年に登場した半導体マイクロプロセッサは、10ミクロン世代の技術であり、1チップ上に約2,300個のトランジスタが搭載されていました。現在の最新の半導体デバイスは 10 nm 世代に迫っており、1チップ上に10億を超えるトランジスタが搭載されるようになりました。また、トランジスタのソース・ドレインにあたるFinの幅は、10 nmを下回り、実にシリコン原子数十個分の大きさとなっており、加工ばらつきに関しては、原子数個レベルに抑える必要があります。半導体製造技術には、物質の最小単位である原子レベルの制御が求められています。

今後の技術戦略

1.プロセスインテグレーションによるソリューション提案

東京エレクトロン(TEL) は、幅広い半導体製造装置ラインアップを有し、新しいプロセスインテグレーションを考案・開発し、お客さまへソリューション提案を行っています。

2.エコシステムによる革新技術開発

また、TEL はコンソーシアムや他の装置メーカー、材料メーカーなどと積極的にエコシステムを構築し、積極的な協業を行っています。このエコシステムによって、世界中の優秀な人材を確保するとともに、世界各地の専門家と革新的な技術ソリューションの開発を行っています。

3.積極的な環境技術開発で半導体製造業界と持続可能な社会の実現に貢献

半導体デバイスによって、高性能な電子機器を安価、かつ省エネルギーで実現することができるようになりました。TELでは環境技術開発を促進するため、社内で「環境技術アワード」を設立し積極的に環境技術開発を推進しています。

Tactras Vigus、Certas、EXIM、Triase+、NT333、TELINDY Plus、LITHIUS および CELLESTAは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。

知的財産の創出活動

これら技術戦略の礎となるのが、TELの技術開発者と知的保有財産です。
TELは製品技術における他社との差別化のため、積極的な知的財産権の取得と活用を図っています。

知的保有財産

当社は、自社およびお客さまが事業を展開する地域における知的財産の保護・活用のため、各国に特許出願を行っています。
売上の80%以上を海外向けが占める当社では、外国特許出願を行う日本特許出願の割合(グローバル出願率)は6年連続で70%を超えており、ビジネスのグローバル化に対応しています。