FDPコータ/デベロッパ

FPDコータ/デベロッパは、FPD製造プロセスのうちアレイ工程(ディスプレイを駆動させる側の基板のプロセス)において、フォトレジスト(感光剤)の塗布と現像を行う装置です。 FPDコータ/デベロッパは、アレイ基板上にフォトレジストを塗布した後、一旦基板を露光装置に送り、そこで転写された微細な回路パターンを、薬液を用いて現像します。これにより、現像で光の当たった部分のフォトレジストは溶けて流れ、基板上に転写した回路パターンが凹凸に描かれます。これがフォトリソグラフィープロセスと呼ばれ、アレイ工程の様々なプロセスごとに繰り返し行われることで、複雑な薄膜トランジスタ(TFT)回路が作られます。

対象製品

FPDコータ/デベロッパ
Exceliner

Excelinerは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。

製品情報

  • 半導体製造装置
    • サーマルプロセス
    • コータ/デベロッパ
    • エッチング
    • サーフェスプレパレーション
    • 枚葉成膜
    • テストシステム
    • ウェーハボンディング/デボンディング
    • SiCエピタキシャル成膜装置
    • ガスクラスターイオンビーム装置
    • 先端パッケージング
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
    • FPDコータ/デベロッパ
    • FPDプラズマエッチング/アッシング
    • 有機ELパネル製造用インクジェット描画装置
  • フィールドソリューション
  • 半導体の製造プロセス