有機ELパネル製造用インクジェット描画装置

インクジェット描画装置は、有機ELパネルの有機発光層成膜の生産性を大幅に改善します。従来用いられている真空蒸着方式とは異なり、インクジェット方式では、大気中で大型ガラス基板に有機材料を必要量のみ吐出することで成膜します。これにより、今後のテレビ用パネルの大型化や低コスト化への対応が可能となります。

対象製品

有機ELパネル製造用
インクジェット描画装置

Elius

Eliusは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。

製品情報

  • 半導体製造装置
    • サーマルプロセス
    • コータ/デベロッパ
    • エッチング
    • サーフェスプレパレーション
    • 枚葉成膜
    • テストシステム
    • ウェーハボンディング/デボンディング
    • SiCエピタキシャル成膜装置
    • ガスクラスターイオンビーム装置
    • 先端パッケージング
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
    • FPDコータ/デベロッパ
    • FPDプラズマエッチング/アッシング
    • 有機ELパネル製造用インクジェット描画装置
  • フィールドソリューション
  • 半導体の製造プロセス