エッチング装置とは？

コータ／デベロッパによって現像されたウェーハ上にはフォトレジストによる回路パターンが描かれており、エッチング装置のチャンバーの中で、プラズマ状態となったエッチングガスが酸化膜などの薄膜をパターンに沿って削り取ります。

対象製品

プラズマエッチング装置
Telius SP

プラズマエッチング装置
UNITY Me

プラズマエッチング装置
Tactras

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Telius、UNITYおよびTactrasは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。