東京エレクトロングループは、ガスクラスターイオンビーム（GCIB）技術で次世代デバイスに必要とされる表面加工・改質プロセス技術の新たなブレークスルーを提供します。TEL Epion Inc.がご提供する本装置は、ガスクラスターイオンビームの直進性の高いケミカルビームと、室温下での処理というユニークな特性を最大限に活用しています。その表面改質技術や高精度の修正エッチング技術により、FEOLプロセスに新たなインテグレーションスキームを提供します。

対象製品

ガスクラスターイオンビーム装置（修正エッチング）
nFusion 700 UT

ガスクラスターイオンビーム装置（表面改質）
nFusion 700 MP