テストシステム

テストシステムとは?

半導体製造装置による様々なプロセスを経たウェーハ上には、数百から数千個のICが作られています。テストシステムは、ウェーハ上に形成されたICが製品として正しく動作するかを検査するシステムです。東京エレクトロンのテストシステムの主力製品であるウェーハプローバは、テスターに接続され、ウェーハ上のICの電極に対して針をあて、電気的検査を可能にする装置です。ICチップの製品保証温度での測定を可能とするために、装置には高温(300, 150℃)から低温(-55℃)までの環境温度(チャック温度)を精度良くコントロールする機能など、様々なニーズを満たす最先端機能を備えています。

対象製品

ウェーハプローバ
Precio XL

ウェーハプローバ
Precio nano/Precio

ウェーハプローバ
Precio octo

ウェーハ/ダイシングフレームプローバ
WDF 12DP+

マルチセルテストシステム
Cellcia

高速針痕自動検査装置
TELPADS -O

ウェーハプローバ用データ管理システム
PN-300

ウェーハプローバ用データ管理システム
N-PAF

Precio、Precio nano、Precio octo、WDF、TELPADSおよびCellciaは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。

製品情報

  • 半導体製造装置
    • サーマルプロセス
    • コータ/デベロッパ
    • エッチング
    • サーフェスプレパレーション
    • 枚葉成膜
    • テストシステム
    • ウェーハボンディング/デボンディング
    • SiCエピタキシャル成膜装置
    • ガスクラスターイオンビーム装置
    • 先端パッケージング
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
    • FPDコータ/デベロッパ
    • FPDプラズマエッチング/アッシング
    • 有機ELパネル製造用インクジェット描画装置
  • フィールドソリューション
  • 半導体の製造プロセス