（億円）
| 11/1-3 | 11/4-6 | 11/7-9 | 11/10-12 | 12/1-3 | 12/4-6 | 12/7-9 | 12/10-12 | 13/1-3 （4月30日発表） |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 半導体製造装置（SPE） | 1,558 | 1,126 | 735 | 1,449 | 1,064 | 760 | 669 | 913 | 1,082 |
| FPD/PV製造装置 | 263 | 89 | 17 | 50 | 28 | 28 | 80 | 36 | 73 |
| 合計 | 1,821 | 1,216 | 752 | 1,500 | 1,093 | 788 | 750 | 949 | 1,156 |
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