フィールドソリューション

常に変化する半導体装置産業のビジネス環境において、東京エレクトロンは、当社装置の高稼働率をお約束するサービス・サポートを提供いたします。
専門の知識・経験を持つサービスエンジニアが迅速に対応し、お客様の問題点を解決いたします。

中古装置

中古装置のサービス・サポート及び在庫、買取情報についてご紹介しています。

改造

改造サービスについてご紹介しています。

サービス・サポート

東京エレクトロングループのサービス・サポート体制をご紹介しています。

スペアパーツ・リペア

TEL純正パーツは当社装置の最適な性能を保証します。
また、低CoC/CoOのための改造も行っています。

製品情報

  • 半導体製造装置
    • サーマルプロセス
    • コータ/デベロッパ
    • エッチング
    • サーフェスプレパレーション
    • 枚葉成膜
    • テストシステム
    • ウェーハボンディング/デボンディング
    • SiCエピタキシャル成膜装置
    • ガスクラスターイオンビーム装置
    • 先端パッケージング
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
    • FPDコータ/デベロッパ
    • FPDプラズマエッチング/アッシング
    • 有機ELパネル製造用インクジェット描画装置
  • フィールドソリューション
    • 中古装置
    • 改造
    • サービス・サポート
    • スペアパーツ・リペア
  • 半導体の製造プロセス