FPDプラズマエッチング/アッシング

FPDコータ/デベロッパによって現像されたアレイ基板上には、フォトレジストにより描き出された回路パターンがあり、それをエッチング装置のチャンバー内でプラズマ状態となったエッチングガスが、成膜された各種薄膜をパターンに沿って削り取ります。

対象製品

FPDプラズマエッチング/アッシング装置
HT Series

FPDプラズマエッチング/アッシング装置
Impressio

Impressioは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。

製品情報

  • 半導体製造装置
    • サーマルプロセス
    • コータ/デベロッパ
    • エッチング
    • サーフェスプレパレーション
    • 枚葉成膜
    • テストシステム
    • ウェーハボンディング/デボンディング
    • SiCエピタキシャル成膜装置
    • ガスクラスターイオンビーム装置
    • 先端パッケージング
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
    • FPDコータ/デベロッパ
    • FPDプラズマエッチング/アッシング
    • 有機ELパネル製造用インクジェット描画装置
  • フィールドソリューション
  • 半導体の製造プロセス