コータ/デベロッパ

コータ/デベロッパとは?

コータ/デベロッパは、半導体製造プロセスのうち、写真と同じ技術を利用したフォトリソグラフィープロセスにおいて、フォトレジスト(感光剤)の塗布と現像を行う装置です。コータ/デベロッパでウェーハ上にフォトレジストを塗布した後、ウェーハは露光装置に送られ、微細な回路パターンが転写されます。次に、コータ/デベロッパに戻り、薬液を用いて現像されます。これにより、光の当たった部分のフォトレジストは溶けて流れ、ウェーハ上に転写した回路パターンが凹凸に描かれます。このフォトリソグラフィープロセスは様々な工程ごとに繰り返し行われ、複雑な集積回路が作られます。

対象製品

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK
LITHIUS Pro AP

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK
LITHIUS Pro Z

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK
LITHIUS Pro V /
LITHIUS Pro V-i

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK
LITHIUS Pro /
LITHIUS Pro -i

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK
LITHIUS / LITHIUS i+

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK ACT 12 / CLEAN TRACK ACT 8

フォトマスク用コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK ACT M

CLEAN TRACK、LITHIUS、LITHIUS ProおよびCLEAN TRACK ACTは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。

製品情報

  • 半導体製造装置
    • サーマルプロセス
    • コータ/デベロッパ
    • エッチング
    • サーフェスプレパレーション
    • 枚葉成膜
    • テストシステム
    • ウェーハボンディング/デボンディング
    • SiCエピタキシャル成膜装置
    • ガスクラスターイオンビーム装置
    • 先端パッケージング
  • フラットパネルディスプレイ製造装置
    • FPDコータ/デベロッパ
    • FPDプラズマエッチング/アッシング
    • 有機ELパネル製造用インクジェット描画装置
  • フィールドソリューション
  • 半導体の製造プロセス