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1960年代
1963年 創業
| 1963/11 | (株)東京放送の出資により、港区赤坂に資本金500万円で(株)東京エレクトロン研究所を設立 |
|---|---|
| 1968/2 | 米国サームコ社との合弁会社 テル・サームコ(株)を設立 |
1970年代
1976年テル・サームコ(株)
世界初の高圧酸化装置を開発
| 1970/6 | 横浜にテル・サームコビルを新設し、完全国産・完全自社生産体制を確立 |
|---|---|
| 1975/10 | (株)テル・エンジニアリングと(株)メックエンジニアリングが合併し、(株)テルメックとなる。 |
| 1977/11 | パネトロンを吸収合併 |
| 1978/10 | 東京エレクトロン(株)に商号変更 |
1980年代
1980年 東京証券取引所市場第二部に上場
インサーキットボードテスタ
| 1980/6 | 東京証券取引所市場第二部に上場 |
|---|---|
| 1983/7 | 米国ラム・リサーチ社との合弁会社テル・ラム(株)を設立 |
| 1984/2 | (株)テル・メックを吸収合併 |
| 3 | 東京証券取引所市場第一部に昇格 |
| 1986/12 | テル・ラム(株)のラム・リサーチ社出資分を買い取り、100％子会社とする |
| 1988/1 | テル・サームコ(株)の米国サームコ社の出資分を全額買い取り、100％子会社とする |
1990年代
ディスクロージャー表彰
| 1990/8 | LCD装置に本格参入 |
|---|---|
| 1994/8 | 本社を赤坂TBS放送センターに移転 |
| 1997/12 | 東京エレクトロン東北(株)相模事業所がTELグループ内で最初のISO14001を認証取得 |
| 1998/2 | 縦型拡散炉5000台出荷達成 |
| 1999/1 | 東京証券取引所より「第4回ディスクロージャー表彰」を受賞 |
| 10 | 東京証券取引所第一部における所属業種を「商業」から「電気機器」へ変更 |
2000年代
Trias SPA
東京エレクトロン技術研究所（株）
| 2000/2 | 1単位の株式数を1,000株から100株に変更 |
|---|---|
| 2001/4 | 東京エレクトロン山梨(株)と東京エレクトロン宮城(株)が合併し、東京エレクトロンAT(株)となる |
| 2002/10 | 東京エレクトロン(株)アドバンスト・ソフトウェア開発部と東京エレクトロン札幌(株)が合併し、東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズ(株)となる |
| 2004/4 | 東京エレクトロンAT(株)と東京エレクトロン東北(株)が合併し、東京エレクトロンAT(株)となる |
| 7 | 東京エレクトロンFE(株)と東京エレクトロンEE(株)が合併し、東京エレクトロンFE(株)となる |
| 7 | 米国持株会社Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.を設立 |
| 2005/1 | 東京証券取引所より「第10回ディスクロージャー表彰」を受賞 |
| 2006/2 | Tokyo Electron Korea Solution Ltd. を設立 |
| 4 | 東京エレクトロンAT(株)を、東京エレクトロンAT(株)、東京エレクトロン東北(株)、東京エレクトロンTS(株)の3社に分割 |
| 6 | TEL Venture Capital, Inc.を設立 |
| 12 | Epion社(米国)を買収し、TEL Epion Inc. を設立 |
| 2007/2 | 東京エレクトロンPS(株)を設立 |
| 6 | 東京エレクトロン技術研究所(株)を設立 |
| 2008/2 | 東京エレクトロンPV(株)を設立 |
| 6 | Tokyo Electron India Private Ltd. を設立 |
2010年代～
東京エレクトロン宮城（株）
中国昆山竣工式
| 2010/7 | 東京エレクトロン宮城(株)を設立 |
|---|---|
| 2011/1 | Tokyo Electron (Kunshan) Ltd.を設立 |
| 4 |
東京エレクトロンAT(株)を東京エレクトロン山梨(株)に商号変更 |
| 4 |
東京エレクトロンFE(株)と東京エレクトロンPS(株)が合併し、東京エレクトロンFE(株)となる |
| 2012/4 | Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd.を設立 |
| 4 | Tokyo Electron Korea Ltd.とTokyo Electron Korea Solution Ltd.が合併し、Tokyo Electron Korea Ltd.となる |
| 5 | NEXX Systems社(米国)を買収し、TEL NEXX, Inc.を設立 |
| 10 | FSI社(米国)を買収し、TEL FSI, Inc.を設立 |
| 11 | Oerlikon Solar社(スイス)を買収し、TEL Solar AGを設立 |
| 12 | Magnetic Solutions社(アイルランド)を買収し、TEL Magnetic Solutions Limited を設立 |
| 2013/4 | 東京エレクトロン技術研究所(株)と東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズ(株)を吸収合併 |
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