半導体用語集

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G-H-I

IGBT

読み方:
アイジービーティー
フルスペル:
Insulated Gate Bipolar Transistor

ディスクリート半導体の一種。少数キャリアの注入によって、MOSFETより動作抵抗を小さくできる3端子バイポーラ-MOS複合半導体素子。高耐圧ながら比較的高速なパワー・トランジスタ。自動車、エアコンなどで用途が拡大している。

i線リソグラフィー

読み方:
あいせんリソグラフィー
フルスペル:
i-Ray Lithography

LSI生産のフォトリソグラフィー工程において、露光光に波長365nmの水銀灯のi線を使う技術をi線リソグラフィーと総称する。最小寸法0.5μm程度から採用が本格化しており、0.35μmまではi線が主流。

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