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半導体ができるまで

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Probe testing

プローブ検査

RESTART

でき上がったウェーハには同じLSIチップが数百個つくられている。プローバで1つ1つのチップにプローブ針を接触させ、つないだテスターと信号のやりとりをしながらチップの良・不良を電気的に検査する。

半導体製造関係装置

ウェーハプローバ、ウェーハテスター
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