グループ会社

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社

熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、プラズマエッチング/アッシング装置の開発・製造

東京エレクトロン九州株式会社

コータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーション装置の開発・製造

東京エレクトロン宮城株式会社

プラズマエッチング装置の開発・製造

東京エレクトロンFE株式会社

装置の立ち上げ、調整および改造、部品の販売

東京エレクトロンBP株式会社

物流サービス、施設管理、保険代理

東京エレクトロン デバイス株式会社

半導体製品、ボード製品、一般電子部品およびソフトウエアの購入、販売およびネットワーク、ストレージ、ミドルウエアの各ソリューションの販売・サポート

Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.

米国統括拠点

Tokyo Electron America, Inc.

米国におけるサービスおよびセールスサポート、半導体製造装置の研究・開発

TEL Technology Center, America, LLC

半導体製造装置の研究・開発

TEL Venture Capital, Inc.

有望技術を持つベンチャー企業への投資

TEL Manufacturing and Engineering of America, Inc.

サーフェスプレパレーション装置、ガスクラスタービーム（GCB）技術を用いた半導体製造装置および産業用製造装置の開発・製造・販売

Tokyo Electron Europe Ltd.

全ヨーロッパの統括拠点、半導体製造装置のサービスおよびセールスサポート

TEL Solar Services AG

太陽光パネル製造装置のフィールドサポート
After-sales services (parts supply & support/maintenance services) for TEL Solar and Display (FTP) equipment

TEL Magnetic Solutions Ltd.

磁場中熱処理装置の開発・製造・販売

Tokyo Electron Israel Ltd.

イスラエルにおけるサービスおよびセールスサポート

Tokyo Electron Korea Ltd.

韓国におけるサービスおよびセールスサポート、半導体製造装置の研究・開発

Tokyo Electron Taiwan Ltd.

台湾におけるサービスおよびセールスサポート、半導体製造装置の研究・開発

Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.

中国におけるサービスおよびセールスサポート

Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Ltd.

中国における部品の調達と供給

Tokyo Electron (Kunshan) Ltd.

ディスプレイ製造装置の製造および部品の補修

Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd.

シンガポールおよび東南アジア地区におけるサービスおよびセールスサポート

Tokyo Electron (Malaysia) Sdn. Bhd.

マレーシアにおけるサービスおよびセールスサポート

Tokyo Electron India Pvt. Ltd.

インドにおけるマーケティング活動

Tokyo Electron Philippines Semiconductor Support Inc.

フィリピンにおけるサービスおよびセールスサポート