技術開発ハイライト

われわれが生きている地球上では、世界各国で経済を発展させる努力がなされ、さまざまな産業で大きな進歩が成し遂げられています。その反面、地球環境という観点では、自然破壊が繰り返され、回復が困難なほどの状態に陥っている地域もあるというのが現実です。地球環境の破壊を食い止めるためには、世界の需要に対して製品やサービスを効率良く供給できさえすればよいという構図はもはや成り立たなくなっており、地球全体での環境保全、持続可能な成長を促進していくことが必要とされています。

現在の半導体回路の加工サイズは数ナノメートルから数10ナノメートル程度です。半導体製造装置内で、半導体をつくるシリコン基板上にウィルスより小さいナノサイズの塵が落ちただけで不良品を発生させ、半導体の良品率を示す「歩留まり」を低下させてしまいます。不良品の原因となる微細なパーティクルが発生を防ぐことは、野球場に数10ミクロンの砂粒一つ落ちていない状態にすることと同じくらい難しいことです。これまでも半導体製造装置の開発は、ナノサイズのパーティクルとの闘いの連続でした。

半導体製造装置はデータ活用とともに進化してきたと言っても過言ではありません。
さまざまなモノがインターネットにつながるIoT(Internet of Things）技術は、ありとあらゆるモノにセンサーがつき、センサーからのデータを組み合わせることによって価値を創出する取り組みを指します。
半導体製造装置には何百ものセンサーがついており、センサーデータを解析して半導体プロセスの精度向上や生産性向上に応用されています。
半導体製造装置はまさにIoTの先駆け的存在と言えます。