学会発表

International Symposium on Dry Process (DPS2019)

第41回のInternational Symposium on Dry Process (DPS2019)が、11/21から11/22に広島で開催されます。
プラズマ・エッチング、プラズマ成膜、プラズマ診断/モデリング、そしてプラズマ表面改質といった乾式プロセスが議論されます。
東京エレクトロン(TEL)は、口頭発表1件とポスター発表2件を予定しています。

  • Novel high-aspect-ratio etch of amorphous carbon mask utilizing SiO2 atomic layer passivation

    Tomohiko Niizeki, M.J. Tomura, Y. Kihara and M. Honda (Tokyo Electron Miyagi Ltd.)

  • Generic Feature Scale Simulator

    Paul Moroz (TEL Technology Center‚ America‚ LLC)