学会発表

SSDM2020

International Conference on Solid State Devices and Materials 2020が9/27から9/30にバーチャルで開催されます。SSDMは今年で52回目と非常に伝統ある国際会議のひとつで、主に半導体に関連する固体素子および材料に関して活発な議論がおこなわれます。東京エレクトロン(TEL)および共同研究者からは、原子層堆積法(ALD)を用いて成長させた薄膜に関する研究を報告する予定です。詳細は関連リンクをご参照ください。

  • Chemical Structure of SiN Films Deposited on High Aspect Trench by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

    T. Nishihara*1, R. Yokogawa*1,2, Y. Otsuki*3, M. Kagaya*3, and A. Ogura*1,2
    1 School of Science and Technology, Meiji University
    2 Meiji Renewable Energy Laboratory
    3 Tokyo Electron Technology Solutions Limited