学会発表

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference(GEC)が10/5から10/9にバーチャルで開催されます。ここではプラズマの基礎研究から応用まで活発な議論がおこなわれます。東京エレクトロン(TEL)からは招待講演1件を含む2件の報告を予定しております。招待講演のタイトルは“Advancements in Feature Scale Simulations”です。ぜひこの機会にご参加ください!
なお、GECはすべての学生がStudent Awardsの申請をすることを推奨しています。

Invited talks

  • Advancements in Feature Scale Simulations

    M.Paul (TEL Technology Center, America, LLC)

  • Pairing plasma diagnostics, theory and simulations with machine learning to overcome the limitations of big data analytics in complex plasma processes

    J. Shinagawa *1, P. Ventzek*1, Y. Tamakawa*2, H. Mochiki*2, N. Yokomori*3
    *1Tokyo Electron America, Inc.
    *2Tokyo Electron Miyagi Ltd.
    *3Tokyo Electron Ltd.