グループ会社

TEL Epion Inc.

本社: 

  • 代表者

    President Michael Graf

  • 事業内容

    ガスクラスターイオンビーム(GCIB)技術を用いた半導体製造装置および産業用製造装置の開発・製造・販売

  • 所在地

    900 Middlesex Turnpike, Building 6
    Billerica, MA 01821 U.S.A.
    tel: +1-978-436-2300
    fax: +1-978-436-2301