インタビュー:山梨大学大学院工学専攻 小澤 一貴さん
Technology

東京エレクトロン(以下:TEL)は、「半導体の技術革新に貢献する夢と活力のある会社」というビジョンの実現を目指し、アカデミアや外部機関などさまざまな協業を通じて、ワールドワイドで研究開発を推進しています。#学会発表では、半導体をとりまく技術トレンドや、学会発表の現場、発表者の声を紹介します。
今回は、TELと大学とのコラボレーションである共著論文の発表の様子をご紹介します。
プロフィール
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山梨大学大学院工学専攻* 小澤 一貴さん
2023年山梨大学大学院入学
(*2024年10月時点)
小澤さんの学会発表と研究への情熱
山梨大学の大学院工学専攻で研究に打ち込む小澤さん。応用物理学会秋季学術講演会で2回目となる学会発表に臨んだ。
「半導体はこれからも必ず社会で広く使われていくもの。その技術開発に携われることが研究のモチベーションですね。発表後の質疑応答ではどんな質問がでてくるのか楽しみです。」
今年の春、応用物理学会のポスター発表で学会デビューを果たし、今回は2回目となる学会発表。「学会発表は、自分が見つけた新しいことを皆さんに共有することで、社会還元できる機会。なので、技術進化に向けた議論を促進できる重要な場所だと思っています」と、その意義を語る。学会発表の準備には、日々の研究活動を、その研究を知らない人にも分かるようにまとめ直す作業が必要とされる。その作業では、第三者の視点を意識することで気づかされることがたくさんあるという。「研究室の中では当たり前だと思っていることも、一歩外に出ると当たり前じゃないことは意外とある。それに改めて気づかされるのは、研究をさらに深めていくうえで必要な作業ですし、大切にしたい視点です。」

「質疑応答では上手く対応できないところもあり疲れました。でも、これからも研究を続けて、より性能が高い半導体デバイスの技術革新に貢献したいですね。」すでに、次の学会発表を見据えている様子は生き生きとしていた。
オンもオフも楽しむ姿勢
子どもの頃からものづくりが好きだった小澤さん。今は朝9時に研究室に入り、夕方まで研究に打ち込む日々を楽しんでいるという。プライベートではアクティブな一面も。「家でじっとしているのは苦手。アウトドアが好きですね。夏は山登り、冬はもっぱらスキーとボードに打ち込んでいます。山梨はどちらもできる魅力的な場所です。」オンもオフも、思い切り楽しむ姿勢が印象的だ。
発表を終えた小澤さんへTELからのメッセージ
大学研究室とのコラボレーションを担当するTELの開発担当者の清水さんから、発表を終えた小澤さんへのメッセージを紹介します!
小澤さん、発表お疲れさまでした!日頃の研究の成果をしっかりとまとめ上げ、学会というフィールドで議論を交わせるまでに成長されている姿、心強く感じています。今回の学会発表を通じて得られた知見を糧に、さらなる研究の深化に取り組んでいきましょう。応援しています!
論文情報:
応用物理学会 秋季学術会議
タイトル「Si3N4およびSiのNF3/SF6誘導結合プラズマ照射によるSelf-limitationエッチングプロセス」
小澤 一貴1, 佐藤 哲也1, 清水 昭貴2
1.山梨大工, 2.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ