半導体用語集
G-H-I
IGBT
- 読み方：
- アイジービーティー
- フルスペル：
- Insulated Gate Bipolar Transistor
ディスクリート半導体の一種。少数キャリアの注入によって、MOSFETより動作抵抗を小さくできる3端子バイポーラ-MOS複合半導体素子。高耐圧ながら比較的高速なパワー・トランジスタ。自動車、エアコンなどで用途が拡大している。
i線リソグラフィ
- 読み方：
- あいせんリソグラフィ
- フルスペル：
- i-Ray Lithography
LSI生産のフォトリソグラフィ工程において、露光光に波長365nmの水銀灯のi線を使う技術をi線リソグラフィと総称する。最小寸法0.5μm程度から採用が本格化しており、0.35μmまではi線が主流。