半導体用語集
V-W-X
WLCSP
- 読み方:
- ウェーハレベルチップサイズパッケージ
- フルスペル:
- Wafer Level Chip Size Package
CSPと呼ばれる超小型集積回路の一種。ウェーハ状態のままICを樹脂封止してしまう最新のパッケージング技術。ベアチップとほぼ同等サイズでバンプピッチの微細化などが容易なため、携帯電話向けとして利用が広がる。
X線リソグラフィ
- 読み方:
- エックスせんリソグラフィ
- フルスペル:
- X-Ray Lithography
光源として、SOR(Synchrotron Orbital Radiation)装置から放射される波長0.5〜1.5nm程度の軟X線を利用したリソグラフィ技術。