71st Gaseous Electronics Conference (GEC2018)

11/5から11/9にかけてポートランドで、第71回GEC (Gaseous Electronics Conference) が開催される予定です。GECはアメリカ物理学会 (APS) の原子分子光物理分科会 (DAMOP) が毎年開催する国際会議です。主にアメリカで開催されていますが、参加者はアメリカに限らず世界各国におよび、プラズマ物理の基礎研究から応用まで、活発な議論がおこなわれます。また、近年では、プラズマバイオテクノロジー、プラズマ医学、大気圧プラズマなどの研究報告の場にもなっています。
エッチング装置、成膜装置でプラズマ技術を活用している東京エレクトロン (TEL) からは３件の研究を報告予定です。