ISSM2018 (International Symposium on Semiconductor Manufacturing)
イベント概要
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開催日
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2018.12.10〜2018.12.11
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開催場所
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日本
半導体生産技術に特化した国際会議「ISSM2018」が、12/10から12/11にかけて日本で開催されます。ISSMは「ノウハウをサイエンスに」を合言葉に、新たな生産技術の創出や生産技術のサイエンス化を担ってきました。近年では、IoTやビックデータ、機械学習の活用についても活発な議論がなされています。
幅広い半導体製造装置ラインアップを有する東京エレクトロンからも機械学習の活用に関する報告など7件報告予定です。
Materials Informatics for Process and Material Co-optimization
Fumiaki Tanaka*1, Hiroshi Sato*1 , Naoki Yoshii*1, Hidefumi Matsui*2
*1 Tokyo Electron Ltd.
*2 Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.
An Accurate Method for Determining Pattern Collapse Occurrence for Nano-Structures
Hiroshi Marumoto, Kawano Hisashi, Mitsunori Nakamori (Tokyo Electron Kyushu Ltd.)
Virtual Metrology Model Robustness Against Chamber Condition Variation by Using Deep Learning
Takuro Tsutsui, Takahito Matsuzawa (Tokyo Electron Ltd.)
