2019 Symposia on VLSI Technology and Circuits
イベント概要
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開催日
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2019.06.09〜2019.06.14
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開催場所
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京都
Symposia on VLSI Technology and Circuits(VLSIシンポジウム)が、6/9から6/14に京都で開催されます。この国際会議は、VLSI技術に関する最も有名な学会の一つです。東京エレクトロン(TEL)は、「サンデー・ワークショップ」と「ショートコース」の中で、選択成長薄膜プロセスに関する講演を予定しています。
Selective and Self-Limited Thin Film Processes for the Atomic Scale Era
R. Clark (TEL Technology Center, America, LCC)
[Sunday Workshop 1 (June 9th)]
Advanced Process Technologies Required for Future Scaling and Devices
R. Clark (TEL Technology Center, America, LCC)
[Short Course 1 (June 10th)]
