SSDM2019
イベント概要
-
開催日
-
2019.09.02〜2019.02.05
-
開催場所
-
名古屋
International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) が、9/2-5に日本の名古屋市で開催されます。
主に半導体に関連する固体素子、および材料について議論され、東京エレクトロン(TEL)はサテライト・ワークショップへの登壇を予定しています。

Machine Learning Approaches for Optimizing Plasma Process and Tool Performances
Munehito Kagaya (Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.)